通過FS209E標(biāo)準(zhǔn)劃分，每立方英尺里面允許含有最多的0.5微米塵埃粒子的數(shù)量就是潔凈室的等級(jí)，比如每立方英尺允許含有最多1000個(gè)0.5微米的例子，那么這個(gè)潔凈室就是千級(jí)；如果是10000個(gè)粒子就是萬級(jí)，總共是從一級(jí)，十級(jí)，百級(jí)，千級(jí)，萬級(jí)到百萬級(jí)。

       ISO14644標(biāo)準(zhǔn)劃分相同，只是等級(jí)表示不一樣，從1級(jí)到9級(jí)，這里的9級(jí)對(duì)應(yīng)的是FS209E的百萬級(jí)。ISO14644比FS209E多出兩個(gè)級(jí)別，就是1級(jí)和2級(jí)，這兩個(gè)主要是針對(duì)電子廠或者航天方面的潔凈室的。