在講到清潔維護(hù)的重要性之前，我們先在認(rèn)識(shí)一下潔凈室中的四大污染來源。

■ 潔凈室中的工具設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)的過程中會(huì)向潔凈室空間擴(kuò)散粒子

■ 潔凈室中的產(chǎn)品也會(huì)向潔凈室空間擴(kuò)散粒子

■ 潔凈室中的設(shè)施，例如地面、墻面、天花板等，一刻不停地?cái)U(kuò)散著粒子

■ 潔凈室中的人員是污染的主要來源，潔凈室中的污染有80%都來自于人員散發(fā)的粒子

既然潔凈室有這么多污染來源，為什么潔凈室“看上去”還那么干凈呢？那是因?yàn)槲覀內(nèi)庋壑荒芸吹搅酱笥?0um的塵粒，需要用顯微鏡才能看到小于50um的塵粒。而對(duì)于許多精密制造業(yè)來說，例如芯片制造業(yè)，任何大于0.1um的塵粒都會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成危害。此時(shí)，就需要通過潔凈室和污染控制技術(shù)來達(dá)到合格的生產(chǎn)環(huán)境。

我們知道，潔凈室可以通過送風(fēng)系統(tǒng)達(dá)到自凈的目的，但是通過循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)只能去除一部分污染，仍會(huì)有大量的污染物在重力作用和布朗運(yùn)動(dòng)的作用下造成堆積。堆積在表面的污染物并不是靜止不動(dòng)的，污染物會(huì)通過表面直接或通過空氣和人員等媒介間接地與產(chǎn)品發(fā)生“接觸”，這種“接觸”就會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成污染，導(dǎo)致產(chǎn)品不良。

此時(shí)，對(duì)潔凈室進(jìn)行定期的清潔維護(hù)就顯得非常有必要了。我們進(jìn)行清潔維護(hù)的目的首先在于去除污染，已達(dá)到潔凈室設(shè)計(jì)建造時(shí)預(yù)期的潔凈度，但最終還是為了保護(hù)我們的產(chǎn)品不受污染，提高產(chǎn)品的優(yōu)率。因此，我們可以將潔凈室清潔維護(hù)定義為：“從潔凈室內(nèi)或潔凈區(qū)內(nèi)重要性各不相同（對(duì)潔凈度而言）的表面，釋放出所有不希望的污染物，并把它們收集起來清除掉。”

我們可以把清潔工作分為兩大范疇，預(yù)防性清潔和主動(dòng)清潔。
預(yù)防性清潔就是，防止產(chǎn)生污染物及防止外部環(huán)境的污染物傳入到潔凈室環(huán)境，或者使其達(dá)到最?。环乐刮廴疚镌陉P(guān)鍵區(qū)域中擴(kuò)散。為主動(dòng)清潔所采取的全部準(zhǔn)備措施，也屬于預(yù)防性清潔。而主動(dòng)清潔則是將污染物從關(guān)鍵區(qū)域中釋放出來。這里，我們重點(diǎn)講一下主動(dòng)清潔的方法和原則。

根據(jù)所使用的工具不同，主動(dòng)清潔的方法可以分為干法和濕法。干法就是使用真空吸塵器，或者是干的工具或粘著方法進(jìn)行清潔。使用干法只能去除部分塵粒，粒子越小，其附著在表面的力就越大，并且粒子附著在表面的時(shí)間越長，就越難以將其清除。濕法清潔是對(duì)干法的有效補(bǔ)充。附著在表面的較小粒子，很難用真空吸塵器吸走，因?yàn)檎婵瘴鼔m器達(dá)不到清除粒子所需的風(fēng)速。此時(shí)，使用無塵拖把或無塵布配合清潔溶劑進(jìn)行清潔就能有效地去除污染。同時(shí)，為了避免交叉污染，清潔時(shí)還應(yīng)遵循從上到下，從里到外的清潔原則，并采用直線方向部分重疊的擦拭方法。

總之，定期對(duì)潔凈室進(jìn)行清潔維護(hù)對(duì)于潔凈室性能的維持有著重要的意義。